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等離子處理設備

等離子處理設備

Plasma equipament

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VPTS系列真空式等離子處理設備

真空等離子體處理設備適用于產(chǎn)品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝，可以用于處理各種材料，包括高分子材料，金屬或半導體等。

產(chǎn)品優(yōu)勢

人機交互系統
適用于結構復雜的 3D 工件
不改變機體固有特性，改性?xún)H發(fā)生在表面
全程干法處理，無(wú)污染
低溫處理，適用于熱敏感材料
高穩定性，使用壽命長(cháng)
低能耗，低保養費用

產(chǎn)品參數

供給需求

電源：380V/50Hz，三相，15A

工藝氣體：輸入壓力 0.2MPA

壓縮空氣：輸入壓力 0.6MPA

可選配置

? RF發(fā)生器
? 耐腐蝕性氣體的 MFC

? 循環(huán)水冷機
? 真空泵

? 真空反應腔尺寸（可定制）

產(chǎn)品型號/技術(shù)配置	VPTS-80	VPTS-110
外形尺寸	1050x1020x1750mm	1050x1020x1750mm
反應腔尺寸	450x400x450 mm	530x520x400 mm
托架有效尺寸	400x320mm，6層	480×330mm，8層
真空腔體材料	鎂鋁合金
真空泵	雙極油泵
質(zhì)量流量控制器	0-500 Sccm(可選)
真空計	ULVAC
射頻電源	13.56 MHZ（功率可選）
水冷系統	水冷電極板+水冷機（選配）
PLC 系統	西門(mén)子
電器系統	施耐德
觸摸屏	10.7 寸
處理氣體	O2 、Ar 、N2 、 CDA

行業(yè)應用

光伏行業(yè)

1、清潔指紋油在鋪設或焊接過(guò)程中，由于手指觸摸，電池板表面會(huì )留下指紋和油漬。電池片的表面有很細的絨面結構，所以很難清洗。油漬會(huì )阻礙電池表面對光線(xiàn)的吸收和利用，導致電池組件的發(fā)電效率下降。低溫等離子體通過(guò)電離氣體產(chǎn)生高溫高速電子束（宏觀(guān)上顯示氣體溫度較低），在軸流風(fēng)扇的作用下將電子束吹出，去除油污、指紋等。電池的表面，從而

醫療器械行業(yè)

物體表面的氧含量和表面潤濕能力與微生物的生成和生長(cháng)息息相關(guān)。所以，在實(shí)驗醫學(xué)中，有效地對非極性塑料表面進(jìn)行預處理是非常重要的。等離子體技術(shù)可以提供一系列的技術(shù)手段，在實(shí)驗室研究中創(chuàng )造良好表面狀態(tài)。1、輸液器輸液器在使用過(guò)程中有時(shí)候會(huì )出現拔針時(shí)，針座與針管之間由于接合不良導致脫離的現象，為了避免這種醫療事故的發(fā)生，對針座進(jìn)

光伏行業(yè)

光伏電池是一種利用太陽(yáng)光的輻射能量，將其轉化為電能的裝置。它主要由兩部分組成：一部分是太陽(yáng)能電池板，另一部分是控制器。太陽(yáng)能電池板是一個(gè)半導體材料制成的板子，上面涂有一層薄薄的PVD（即物理氣相沉積）膜。PVD膜的作用是將太陽(yáng)光線(xiàn)中的能量聚焦在電池板的表面，從而產(chǎn)生電流。控制器是一個(gè)微型電腦，可以控制整個(gè)系統的運行。它通過(guò)監測太陽(yáng)能電池板的輸出電流，調節充電電流，以保證給負載提供最大的功率。光伏電

IC封裝行業(yè)

典型優(yōu)勢 1、去除表面的有機物、氧化物和其他污染物，提高芯片表面親水性2、改善引線(xiàn)鍵合界面的表面活性，提高芯片的鍵合強度和鍵合導線(xiàn)的張力均勻性等離子清洗機應用于IC封裝領(lǐng)

汽車(chē)行業(yè)

隨著(zhù)汽車(chē)行業(yè)標準的逐漸提高，以及在智能化和物聯(lián)網(wǎng)水平提高的背景之下，消費者除了在對車(chē)輛的舒適性與安全性上有著(zhù)更高的要求，還對于一種可用于處理部分汽車(chē)零件的等離子處理技術(shù)有著(zhù)很大的需求。車(chē)輛外觀(guān)、內飾、智能化成為年輕用戶(hù)的追求，內飾豪華是代的必不可少的,而等離子處理技術(shù)可以顯著(zhù)的提高汽車(chē)各工藝的細節優(yōu)化。 1、汽車(chē)內飾件

新能源鋰電池行業(yè)

根據3C數碼類(lèi)，智能手機、平板電腦；新能源汽車(chē)、純電動(dòng)驅動(dòng)車(chē)及新型設備、電動(dòng)工具、儲能系統和通信基站等領(lǐng)域，以及消費者的需求不斷增高，鋰電池的市場(chǎng)規模同時(shí)也在不斷逐步擴大；而綜上所言，鋰電池的應用已成為必然趨勢，且有著(zhù)開(kāi)闊的市場(chǎng)前景。目前鋰電池生產(chǎn)廠(chǎng)家普遍采用溶劑型膠粘劑，該類(lèi)膠粘劑需要加入NMP溶劑配合使用，而NMP溶劑含有一些對人體健康有害的不良物質(zhì)，使用時(shí)還需投入成本進(jìn)行回收；并且伴有

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