1、清潔指紋油
在鋪設或焊接過(guò)程中，由于手指觸摸，電池板表面會(huì )留下指紋和油漬。電池片的表面有很細的絨面結構，所以很難清洗。油漬會(huì )阻礙電池表面對光線(xiàn)的吸收和利用，導致電池組件的發(fā)電效率下降。低溫等離子體通過(guò)電離氣體產(chǎn)生高溫高速電子束（宏觀(guān)上顯示氣體溫度較低），在軸流風(fēng)扇的作用下將電子束吹出，去除油污、指紋等。電池的表面，從而起到清潔的作用。
2、紋理表面
多晶硅光伏電池的表面需要通過(guò)制絨工藝制備一層蠕蟲(chóng)狀絨面，從而提高光的吸收和利用效率。一般的制備工藝是用硝酸和氫氟酸按一定的比例對多晶硅電池表面進(jìn)行刻蝕，使硅片表面形成一層多孔硅。多孔硅可以作為吸雜中心，提高光生載流子的壽命，具有較低的反射系數。然而，多孔硅結構松散且不穩定，電阻和表面復合率高。。低溫等離子體的高速粒子撞擊電池片表面，一方面可以使絨面更加細致有序，另一方面也可以使表面結構更加穩定，減少復合中心的產(chǎn)生。
3、溫蝕刻
由于磷在光伏制備過(guò)程中的擴散，電池的表面和邊緣不可避免地會(huì )摻雜磷。隨著(zhù)磷的擴散，光生電子將從前面流向后面，導致PN結短路，導致并聯(lián)電阻減小。并聯(lián)電阻反映了電池的泄漏水平，這將影響太陽(yáng)能電池的開(kāi)路電壓。它的降低會(huì )降低開(kāi)路電壓，但對短路電流基本沒(méi)有影響。電池表面還形成了PSG（磷硅酸鹽玻璃），PSG易于吸收空氣中的水分，從而降低了電流和功率衰減。低溫等離子體可以通過(guò)粒子掃掠分解過(guò)量的擴散磷，從而達到去除PSG的目的。
4、表面鈍化
在光伏電池的制備過(guò)程中，由于切割過(guò)程的存在，會(huì )在電池表面形成懸掛鍵。懸掛鍵可以捕獲光生載流子，限制光電流的產(chǎn)生，這是光伏電池的一種嚴重的能量損耗方法。低溫等離子體可以電離氫氣，利用氫離子修復鈍化電池表面的懸掛鍵，使硅原子恢復到穩定的結構。
5、減少死層的影響
在擴散區，由于磷原子處于晶格間隙位置，會(huì )導致晶格缺陷。由于磷和硅之間的原子半徑不匹配，高濃度的磷也會(huì )導致晶格缺陷。因此，在硅電池的表面層中，少數載流子的壽命極低，表面層吸收短波長(cháng)光子產(chǎn)生的光生載流子對電池的光電流輸出貢獻很小。因此，表層被稱(chēng)為“死層”。“死層”的存在是不可避免的，但有些方法可以用來(lái)減少“死層”的影響。低溫等離子體的吹掃可以使表面磷原子的分布更加均勻，并促進(jìn)磷原子的正確放置，從而減少死層對電池表面的影響。
